Россия

lab@ noykem.ru

Москва: (499) 346-39-14,  (495) 77-46-319   Новосибирск: (383) 363-85-90 (многоканальный)

КАТАЛОГ

Наша задача - обеспечивать Ваши лаборатории качественной продукцией

Позитивные фоторезисты AR-P (Allresist, Германия)

Позитивные фоторезисты AR-P от Allresist (Германия).

 

AR-P 1210, 1220, 1230 для нанесения методом  распыления, для различных применений с высоким качеством разрешения. Экспонирование - широкополосный УФ, i-линия, g-линия. Хорошая адгезия, гладкая поверхность. Сочетание новолака и нафтохинона диазида. Безопасный растворитель PGMEA, а также метилэтилкетон.

Параметры AR-P 1210 AR-P 1220 AR-P 1230
Использование

для равномерного покрытия для вертикальных структур

для травления склонов под углом 54 °

для плоских пластинчатых поверхностей
Толщина слоя  4 - 10 мкм  3 - 8 мкм  0.5 - 1 мкм
Разрешение  1  мкм  1  мкм   1  мкм 
Проявители AR 300-44 AR 300-44  AR 300-44 
Растворители AR 300-76, AR 300-71 AR 300-76, AR 300-71  AR 300-76, AR 300-71

 

Подробнее: 

Позитивные / Негативные фоторезисты AR-P 1200 / AR-N 2200 (анг.)

 

Позитивные резисты AR-P 3110, 3120, 3170 с усиленной адгезией и высоким разрешением, для производства маски и мелких делений шкалы. Экспонирование - широкополосный УФ, i-линия, g-линия. Высокая фоточувствительность, высокое разрешение. Сильная адгезия к стеклянным/хромированным поверхностям в процессах влажного химического травления, устойчивы к травлению плазмой. Сочетание новолака и нафтохинона диазида. На основе безопасного растворителя PGMEA.

Параметры AR-P 3110 AR-P 3120 AR-P 3170
Использование

производство шаблонов

производство шаблонов

производство шаблонов, можно использовать для лазерной интерференционной литографии
Толщина слоя, при 4000 об/мин  1000 нм  550 нм  120 нм
Разрешение  0,5  мкм  0,4  мкм   0,4  мкм 
Промотор адгезии AR 300-80 AR 300-80 AR 300-80
Проявители AR 300-35, AR 300-47 AR 300-35, AR 300-47 AR 300-35, AR 300-47
Разбавитель AR 300-12 AR 300-12 AR 300-12
Растворители AR 300-76, AR 300-73 AR 300-76, AR 300-73 AR 300-76, AR 300-73

 

Подробнее: 

Позитивные фоторезисты AR-P 3100 (анг.)

 

Позитивные резисты серии AR-P 3200 - жидкие резисты с высокой вязкостью для получения толстых пленок. Эти резисты хорошо подходят для покрытия краев топографий на сложных поверхностях пластин (дают хорошее выравнивание). Позволяют генерировать рисунок резиста с вертикальным профилем. Толстослойные резисты AR-P 3200 обеспечивают высокую степень разрешения рисунка.

 

Параметры AR-P 3210 AR-P 3220 AR-P 3250
Толщина слоя, до  40 мкм  1000 мкм  20 мкм
Разрешение  0,5  мкм  0,4  мкм   0,4  мкм 
Промотор адгезии AR 300-80 AR 300-80 AR 300-80
Проявители AR 300-35, AR 300-47 AR 300-35, AR 300-47 AR 300-35, AR 300-47
Разбавитель AR 300-12 AR 300-12 AR 300-12
Растворители AR 300-76, AR 300-73 AR 300-76, AR 300-73 AR 300-76, AR 300-73

 

 

Позитивные резисты серии AR-P 3500 / 3500 T - жидкие резисты для широкого диапазона процессов, предназначены для производства интегральных микросхем. Высокая фоточувствительность, высокое разрешение, очень хорошие адгезивные свойства. Экспонирование - широкополосный УФ, i-линия, g-линия. Устойчивы к травлению плазмой, стабильность при температуре до 120°С. Сочетание новолака и нафтохинона диазида. На основе безопасного растворителя PGMEA.

Параметры AR-P 3510 / 3510 Т AR-P 3540 / 3540 Т
Использование    
Толщина слоя, при 4000 об/мин  2,0 мкм  1,4 мкм
Разрешение  0, 8 / 0,6  мкм  0,7 / 0,5  мкм 
Промотор адгезии AR 300-80 AR 300-80
Проявители AR 300-26, T: AR 300-44 AR 300-26, T: AR 300-44
Разбавитель AR 300-12 AR 300-12
Растворители AR 300-76, T: AR 300-76 AR 300-76, T: AR 300-76

 

Подробнее: 

Позитивные фоторезисты AR-P 3500 (анг.)

Это интересно!

С момента рождения в мозгу человека уже существует 14 миллиардов клеток, и число это до самой смерти не увеличивается. Напротив, после 25 лет оно сокращается на 100 тысяч в день.

Корзина

Итоговая сумма:   0.00 Руб.
В корзину
www.noykem.ru
lab@ noykem.ru
(499) 346-39-14, (495) 77-46-319
(383) 363-85-90 (многоканальный)

 


Copyright (с) 2013 - 2019 ООО "Нойкем"